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    為什么普通電機不能在真空環境中使用

    如何掌控并提高未來對于真空環境作業的可靠性和質量,避免因高真空環境而帶來設備無法工作的問題?

    現代工廠,例如LED或OLED的生產中會越來越多涉及到真空環境;自上世紀90年代起在晶圓生產過程中廠家設法避免微小灰塵的進入。當今的生產過程 如噴鍍(將固體材料物質以粒子的形式在另一物體表面形成一層很薄、精確的涂層)會摻雜空氣中其他物質。

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    為什么不可以將電機直接工作在真空罐中?這樣會比較簡單。普通的電機由于散發微小粒子和分子沉淀會污染真空罐。其中的有機物比如潤滑脂,粘合劑,絕緣層和其他物質會有氣體產生,而將普通電機用在真空環境中會帶來污染真空罐或其他精密儀器的風險。真空環境中,普通電機所散發氣體量,取決于電機自身等級和工作環境溫度,或許普通的電機可以偶爾能工作在低真空環境中,但是在高真空和超高真空環境中是絕對無法使用的。

    來自Phytron公司的市場產品戰略總監說“一個外科醫生永遠不會用帶有灰塵的雙手實施手術。同樣,為了滿足真空應用,一個工程師會考慮選擇合適的材料和適當的控制方法。并不是所有的電機都可以在真空中正常工作,并不是所有的電機都適合真空使用”

    由于無法直接用在真空罐中,因此普通電機通常被安裝在真空罐外部,此時放置在真空罐內部的機械裝置通過導孔(真空罐壁于外部連接部分)被外部電機所驅動。雖然這種方式看起來可以節省真空罐內部的空間,但是如果想通過外部的電機實現真空罐內部多維機械運動控制,這樣做法顯然會受到很大制約,即使可以實現,采用這種方式的成本也會很高,真空罐內部空間會被大量復雜的、額外機械部件所占用。

    為什么普通電機不能在真空環境中使用.jpg

    另一個方面,使用普通電機通過導孔與真空罐內部連接并不代表沒有風險,導孔的密封本身就是一個隱患,最糟糕的情況可能會是由于內外壓強差真空失去控制,導致真空罐內真空受到污染,影響整批產品生產。在這種情況下,唯一能做的只能更換泄露部件,罐內需要重新抽真空,根據不同的真空罐尺寸和真空度等級,重修時間可能需要幾個小時甚至是需要幾天的時間,如此一來會造成相當大的生產損失和大量的電能浪費。


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